金融界2024年12月23日音讯，国家知识产权局信息数据显现，南京原磊纳米资料有限公司获得一项名为“一种ALD腔体内晶圆传输及平整度调理组织”的专利，授权公告号CN 222182431 U，请求日期为2024年1月。

　　专利摘要显现，本实用新型触及晶圆传输技术领域，详细公开了一种ALD腔体内晶圆传输及平整度调理组织，包含：内部设有晶圆本体的腔体本体、用于驱动反响内腔陶瓷加热组移动的动力传输组件和用于调整晶圆本体平整度的调整平整度组件；本实用新型经过在自动衔接座和从动衔接座上端适宜方位设置限位六角法兰面螺母A和限位六角法兰面螺母B，确认从动衔接座和自动衔接座可以运动的极限方位，经过电缸驱动装置于导轨组件的滑块上的自动衔接座移动，并使用绷簧一驱动从动衔接座移动，终究完成对晶圆的二次平稳传输；调理六角圆柱头螺钉一、六角圆柱头螺钉二高度从而调整提高杆座方位，并经过3组PI N杆直接调整晶圆本体的平整度，确保晶圆本体处于恰当的水平方位镀膜。